[发明专利]一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用有效
| 申请号： | 200610026523.9 | 申请日： | 2006-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1866007A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李昕欣;李鹏;左国民;王跃林;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N33/48 | 分类号： | G01N33/48;G01N13/10;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成 二氧化硅 悬臂梁 微量 检测 传感器 制作方法 应用 | ||
【说明书】：
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