[发明专利]电磁激励高阶模态硅微机械悬臂梁的驱动结构、制作方法及应用有效
| 申请号： | 200610023320.4 | 申请日： | 2006-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1880211A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 李昕欣;金大重;刘剑;左国民;刘民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁 激励 高阶模态硅 微机 悬臂梁 驱动 结构 制作方法 应用 | ||
【权利要求书】：
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