[发明专利]互补结构微图案化制作倒梯形结构的方法有效
| 申请号： | 200610016995.6 | 申请日： | 2006-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1877453A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 韩艳春;邢汝博;于新红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05B33/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 马守忠 |
| 地址： | 130022吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 互补 结构 图案 制作 梯形 方法 | ||
【权利要求书】：
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