[发明专利]微电子机械系统共振器及其制作方法无效
| 申请号： | 200610012849.6 | 申请日： | 2006-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN1897460A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 阎济泽;曾屹 | 申请（专利权）人： | 阎济泽 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 唐山永和专利事务所 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 063000河北省唐山*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 共振器 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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