[发明专利]正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图形的方法有效
| 申请号： | 200610007164.2 | 申请日： | 2002-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1818784A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 岩井武;久保田尚孝;藤村悟史;宫入美和;羽田英夫 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂 组合 使用 形成 图形 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京应化工业株式会社，未经东京应化工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610007164.2/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：分析物检验设备
- 下一篇：用于制造电容器的夹具、电容器的制造方法以及电容器
