[发明专利]一种光开关的设计及制作工艺有效
| 申请号： | 200610002666.6 | 申请日： | 2006-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN101008694A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 董立军;陈大鹏;欧易;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 开关 设计 制作 工艺 | ||
【权利要求书】：
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