[发明专利]基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置无效
| 申请号： | 200610001104.X | 申请日： | 2006-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN1979137A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 森谷俊洋;和田洋贵;大西贵子;清水敦;仲岛晶 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/30;G01B11/24;G06T7/00;H05K13/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 装置 及其 逻辑 设定 方法 | ||
【权利要求书】：
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