[发明专利]离子控制传感器

说明书

技术领域

本发明涉及能够检测除电装置产生的正负离子量的离子平衡和被除电物的带电电位双方的离子控制传感器。

现有技术

以往，例如在(日本国)特开平11-345697号公报([0010]～[0017]、图1等)记载了一种除电装置，该除电装置对应被除电物的静电电容的大小及表面电位对于施加在放电电极针的电压进行可变控制。

该除电装置的结构如下，具有：至少一根放电电极针，其供给电压，对于被除电物产生电晕放电；表面电位计，其连续地测定被除电物的表面电位；运算处理单元，其根据所测定的表面电位计算使被除电物的表面电位收敛至零的施加电压；以及电压输出单元，其向放电电极针输出利用计算所求得的施加电压，其中，向运算处理单元反馈表面电位计的测定结果，使对放电电极针的施加电压可变。此外，运算处理单元也具备根据表面电位测定值的变化计算被除电物的静电电容的功能。

按照上述(日本国)特开平11-345697号公报记载的现有技术，始终测定被除电物的表面电位及基于该表面电位的静电电容，向运算处理单元反馈这些测定值，控制对放电电极针的施加电压，大致能够高精度低进行除电。

此外，在(日本国)特许第3522586号公报([0015]～[0024]、图1等)记载有一种液晶面板的制造装置，使离子发生器(除电装置)产生的离子之中只有除电所需量的离子到达液晶基板(被除电物)，在失去离子平衡的情况下，使液晶基板反向带电。

该液晶面板制造装置具有：除电装置，其利用电晕放电产生离子；及栅电极板等电极部件，其根据除电对象物的带电量调整往除电对象物的离子量，其中，除电装置包括：屏蔽壳体，其在放电侧开口；放电电极，其设置于屏蔽壳体内；以及高压电源，其向该放电电极施加电晕放电所需的高电压。

就其作用而言，着眼于液晶基板和电极部件之间的电场按照液晶基板的带电量变化，在带电量小的情况所述电场变弱，从而使得从除电装置产生的离子的大部分自电极部件流向接地侧，使往液晶基板的到达离子量减少，而在带电量大的情况所述电场变强，使从除电装置产生的离子的大部分到达液晶基板，提高除电效果。

然而，(日本国)特开平11-345697号公报所记载的现有技术，基本上根据被除电物的表面电位控制除电装置，而没有考虑从除电装置产生的正负离子的离子平衡。因而，也有自除电装置产生的正负的离子量没有形成离子平衡的情况，从而由于离子发生器可能使原本未带电的被除电物带某一方的极性。在这样被除电物带电的情况下，虽然利用基于其表面电位的除电装置的控制可进行除电，但是进行了本来不需要的除电动作，从而浪费时间及电力。

此外，(日本国)特许第3522586号公报记载的现有技术，由于根据基于液晶基板的带电量的电场强度控制离子往液晶基板的到达量，因此，在提高除电精度上受到限制，例如难以将液晶基板准确地保持在±0[V]。

进而，由于需要具备大型的栅电极板等，以能够覆盖在除电装置所配置的多个放电电极针与液晶基板之间的空间，因此，存在构成部件大型化而导致装置整体大型化及成本上升的问题。

发明内容

本发明的课题在于，提供一种低成本的离子控制传感器，其利用极简单的结构，能够检测离子平衡及检测被除电物的带电电位，提高除电装置的性能。

为解决上述的课题，在技术方案1记载的发明是一种离子控制传感器，其特征在于，在向被除电物供给正负离子而进行除电并具备用于测定被除电物的表面电位的表面电位测定用探针的除电装置中，包括：电位检测部，其构成表面电位测定用探针；以及导电性的盖，其经由绝缘部件配置成包围该电位检测部。

此外，在技术方案2记载的发明是在技术方案1的离子控制传感器中，利用所述电位检测部检测因被除电物的带电电荷或从除电装置所供给的离子而在所述盖上产生的电位，并作为反馈信号向除电装置内的控制电路送出。

根据本发明的上述结构，可利用单一的离子控制传感器检测除电装置产生的正负离子的离子平衡和被除电物的表面电位，可实现高精度且高效率的除电装置。

此外，本发明只是在既有的表面电位测定用探针的电位检测部经由绝缘部件安装导电性的盖就可实现，构造极简单，能以低成本提供。

附图说明

图1是表示本发明的优选实施方式的离子控制传感器的立体图。

图2是本发明的优选实施方式的使用状态的说明图。

图3是图2的除电装置的概略结构图。

具体实施方式