[发明专利]一种微阵列扫描仪的扫描运动平台

权利要求书

1.一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：用以在承载微阵列芯片的载物台所在平面内移动微阵列芯片，其中载物台由一第一驱动装置控制。该第一驱动装置包括一带轮；一缠绕在带轮上的弹性薄金属带，其中薄金属带的两端连接到载物台上以使带轮的转动能带动载物台的移动。

2.如权利要求1所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述薄金属带连接到载物台上的两端其中之一与载物台构成的连接是可活动的。

3.如权利要求2所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述薄金属带还包括一预紧区段，延伸到与载物台构成可活动连接的一端之外。

4.如权利要求1所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述带轮由一低转动惯量的伺服电机驱动。

5.如权利要求1所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：它还包括一第二驱动装置，其中第一驱动装置沿一扫描方向移动载物台，而第二驱动装置沿不同于扫描方向的一进给方向移动载物台。

6.如权利要求5所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述第二驱动装置沿正交于扫描方向的一进给方向移动载物台。

7.如权利要求5所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述第一驱动装置位于载物台之下、第二驱动装置之上。

8.如权利要求5所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述第二驱动装置包括一丝杠，丝杠偶联到一步进电机。

9.一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：包括一底座，底座上一第一导轨；一滑块，可在第一导轨上滑动，其上还有正交于第一导轨的第二导轨；一进给驱动装置，可使滑块沿第一导轨滑动；一载物台，可在第二导轨上滑动；以及一扫描驱动装置，可使载物台沿第二导轨滑动。

10.如权利要求9所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述扫描驱动装置包括一带轮和一缠绕在带轮上的弹性薄金属带，薄金属带的两端连接到载物台以使带轮的转动能带动载物台的移动。

11.如权利要求10所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述薄金属带连接到载物台的两端之一与载物台构成的连接是可活动的。

12.如权利要求11所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述弹性薄金属带还包括一预紧区段，延伸到与载物台构成可活动连接的一端之外。

13.如权利要求10所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述扫描驱动装置偶联到一低转动惯量的伺服电机。

14.如权利要求10所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述扫描驱动装置安装在滑块上。

15.如权利要求10所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述进给驱动装置包括一丝杠，丝杠偶联到一步进电机。

16.一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：包括一底座，底座上一第一导轨；一滑块，可在第一导轨上滑动，其上还有正交于第一导轨的第二导轨；一丝杠，偶联到滑块；一步进电机，偶联到丝杠；一载物台，可在第二导轨上滑动；一扫描驱动装置，包括一带轮和一缠绕在带轮上的弹性薄金属带，薄金属带的两端连接到载物台以使带轮的转动能带动载物台的移动；以及一伺服电机偶联到扫描驱动装置。

17.如权利要求16所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述扫描驱动装置安装在滑块上。

18.如权利要求16所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述薄金属带连接到载物台的两端之一与载物台构成的连接是可活动的。

19.如权利要求18所述的一种微阵列扫描仪的扫描运动平台，其特征在于：所述弹性薄金属带还包括一预紧区段，延伸到与载物台构成可活动连接的一端之外。