[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成材料，其特征在于，

具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，同时所述聚合性化合物至少包括在分子中具有1个聚合性基的化合物，而且在对所述感光层进行曝光显影时，使该感光层的曝光的部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1～20mJ/cm²。

2.根据权利要求1所述的图案形成材料，其中，

聚合性化合物还包括在分子中具有2个聚合性基的化合物。

3.根据权利要求1或2所述的图案形成材料，其中，

聚合性化合物还包括在分子中具有3个以上聚合性基的化合物。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的图案形成材料，其中，

在分子中至少具有1个聚合性基的化合物具有聚烯化氧基。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的图案形成材料，其中，

在分子中具有1个聚合性基的化合物在聚合性化合物中的含量为1～40质量％。

6.一种图案形成材料，其特征在于，

具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，同时所述聚合性化合物包括在分子中至少具有3个以上聚合性基的化合物，而且在对所述感光层进行曝光显影时，使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1～20mJ/cm²。

7.根据权利要求6所述的图案形成材料，其中，

聚合性化合物包括在分子中具有3个以上聚合性基、和聚烯化氧基的化合物。

8.根据权利要求6或7所述的图案形成材料，其中，

在分子中具有3个以上聚合性基的化合物在聚合性化合物中的含量为1～40质量％。

9.根据权利要求1～8中任意一项所述的图案形成材料，其中，聚合性化合物包括具有尿烷基或芳基的至少一种的化合物。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的图案形成材料，其中，含有聚合抑制剂。

11.根据权利要求1～10中任意一项所述的图案形成材料，其中，支撑体的总光线透过率为86％以上。

12.根据权利要求1～11中任意一项所述的图案形成材料，其中，在求支撑体的浊度值及支撑体的总光线透过率时的光的波长为405nm。

13.根据权利要求1～12中任意一项所述的图案形成材料，其中，

粘合剂含有共聚物，该共聚物具有来源于苯乙烯及苯乙烯衍生物的至少一种的结构单元。

14.根据权利要求1～13中任意一项所述的图案形成材料，其中，

粘合剂的玻璃化温度为80℃以上。

15.根据权利要求1～14中任意一项所述的图案形成材料，其中，

粘合剂的酸值为70～250mgKOH/g。

16.一种图案形成装置，其特征在于，

具备权利要求1～15中任意一项所述的图案形成材料，

至少具有：可以照射光的光照射机构；和调制来自该光照射机构的光、对所述图案形成材料中的感光层进行曝光的光调制机构。

17.一种图案形成方法，其特征在于，

至少包括：对权利要求1～15中任意一项所述的图案形成材料中的该感光层进行曝光的步骤。

18.根据权利要求17所述的图案形成方法，其中，

曝光是使用基于形成的图案信息而生成控制信号并根据该控制信号进行调制的光进行的。

19.根据权利要求17或18所述的图案形成方法，其中，

曝光是在利用光调制机构调制光之后，使所述光从排列具有非球面的微透镜而成的微透镜阵列通过来进行的，所述非球面可修正所述光调制机构中的描绘部的射出面的畸变引起的像差。

20.根据权利要求19所述的图案形成方法，其中，

非球面为复曲面。