[发明专利]已校准的压力传感器

权利要求书

1.一种校准电容性压力传感器的方法，其包括：

在所确定的压差下向压力传感器的隔膜施加多个第一电压；

多个第一电压下测量隔膜的多个电容值；以及

将所测量的多个电容值转换成压力传感器校准机制。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，转换还包括调节基于施加到样本压力传感器的压差值和施加到样本压力传感器的多个第二电压中的至少一个所产生的基本校准算法。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述压力传感器校准机制包括基于与多个第一电压相关联的所测量的电容值和与多个第二电压相关联的所测量的电容值之间的比较来调节所述基本校准算法。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所确定的压差包括大约为零的压差值。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，多个第一电压包括大约为零的电压值。

6.一种校准电容性压力传感器的方法，其包括：

基于压力传感器的第一压差值和施加到压力传感器的第一施加电压值来产生第一校准机制；

在第二压差下将多个第二电压施加到压力传感器的隔膜；

在多个第二电压下测量隔膜的多个电容值；以及

利用所测量的多个电容值来调节第一校准机制，以产生第二校准机制。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，第一和第二校准机制中的至少一个是曲线图、表格和等式中的至少一种。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，当施加第一电压值来产生第一校准机制时，压力传感器上的至少一个第一压差大约为零。

9.根据权利要求6所述的方法，其中，当施加第一压差值来产生第一校准机制时，施加到压力传感器的至少一个第一施加电压值大约为零。

10.一种具有执行方法的程序指令的计算机可读介质，该方法包括：

校准压力传感器，该校准包括：

将多个电压施加到压力传感器的隔膜；

对应于该多个施加电压测量多个第一电容值；

将多个第一电容值与比较中的由样本压力传感器所产生的第一校准机制进行比较，该第一校准机制易受到多个压差和多个施加电压中的至少一个的影响；

通过响应于该比较来调节第一校准机制，产生第二校准机制；

将未知的压差施加到压力传感器的隔膜；

测量与该未知的压差相关联的第二电容值；以及

在所测量的第二电容值处从第二校准机制中检索压差值，以确定该未知的压差。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，第一和第二校准机制中的至少一个是曲线图、表格和等式中的至少一种。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，利用大约为零的施加电压值来施加多个压差。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，利用大约为零的压差值来施加多个电压。

14.一种系统，其包括：

具有隔膜的压力传感器；以及

校准压力传感器的控制系统，

其中：

该控制系统将多个电压施加到压力传感器的隔膜；

该控制系统对应于多个施加电压测量多个第一电容值；

该控制系统将多个第一电容值与比较中的由样本压力传感器产生的第一校准机制进行比较，该第一校准机制易受到多个压差和多个施加电压中的至少一个的影响；

该控制系统通过响应于该比较来调节第一校准机制，产生第二校准机制；

该控制系统将未知的压差施加到压力传感器的隔膜；

该控制系统测量与该未知的压差相关联的第二电容值；以及该控制系统在所测量的第二电容值处从第二校准机制中检索压差值，以确定该未知的压差。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，利用大约为零的施加电压值施加多个压差。

16.根据权利要求14所述的方法，其中，利用大约为零的压差值来施加多个电压。

17.一种系统，其包括：

具有隔膜的压力传感器；以及

用于在不使用隔膜上的已知的非零压差的情况下来校准压力传感器的装置。