[发明专利]存储器件制造中的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种基于驻极体或铁电材料形式的电可极化存储材料的存储器件制造中的方法，其中该器件包括具有在印刷工艺中专门地或部分地提供的电路结构的一层或多层，其中所述一层或多层在随后的沉积步骤中沉积在公共基板上，完全或部分交叠地一层在另一层的顶部上或者并排，且其中至少一层用溶解在溶剂中的层材料沉积。

具体地，本发明涉及用于电路的材料和制造技术，其基于通过印刷工艺施加的有机材料。

更具体地，本发明可应用于在铁电聚合物上印刷导电聚合物电极，但是不限于该使用。

背景技术

很多研究人员和公司已经展示出通过印刷方法制造的有机电子器件。其大部分描述了其中有机材料的半导电特性用于实现器件功能的器件。全部聚合物场效应晶体管的印刷已经由Garnier等人公开[Garnier，F.，R.Hajlaoui等人(1994)。“All-polymerfield-effect transistor realized by printing techniques.”Science 265(16 Sep.1994)：1684-1686]。该文件中，作者描述了怎样通过印刷有机导电和半导电的材料制造场效应晶体管。而且，其要求这种器件可通过使用不同的导电聚合物如聚苯胺、聚吡咯和聚酚噻来制造。作者写道“通过印刷技术由聚合物材料制造场效应晶体管。显示出高电流输出的器件特性对机械处理如弯曲或扭曲不敏感。通过适当技术实现的该全部有机柔性器件开辟了大面积、低成本塑料电子器件的道路”。该文献中用于印刷的技术看起来与常规的高容积印刷方法相差很多，但是仍通过非微电子器件制造常见的方法沉积材料。

更多已经确定的方法的使用例如由Hebner等人报道[Hebner(1998)。“Ink-jet printing of doped polymers for organic lightemitting devices.”Applied Physics Letters 72(5)：519-521]。作者声称“喷墨印刷用于直接沉积图案化发光聚合物掺杂膜。具有香豆素6(C6)、香豆素47(C47)和尼罗红染料的聚乙烯基咔唑(PVK)膜的发光与通过旋涂沉积的相同化合物膜的发光相似。具有低开启电压的发光二极管也以通过喷墨印刷沉积的掺杂有C6的PVK制造。着色的有机聚合物被印刷以形成尺寸范围为150-200μm且具有40-70nm厚度的特征。在报道的文章中，在通过物理汽相沉积沉积金属电极时仅印刷有源发射层。

通过印刷方法制造的其它器件由Andersson等人在名称为“Active Matrix Displays Based on All-Organic ElectrochemicalSmart Pixels Printed on Paper”的论文中报道[Andersson，P.，D.Nilsson等人(2002)。“Active Matrix Displays Based onAll-Organic Electrochemical Smart Pixels Printed on Paper.”Adv.Materials 14(20)：1460-1464]。在那作者印刷了导电聚合物结构以形成晶体管、电阻器以及显示元件。印刷层是通过增加印刷或减图案化形成的PEDOT:PSS。

PEDOT:PSS的印刷已经用于制造用于湿度传感器的转换器。这由Nilsson等人报道[Nilsson，D.，T.Kugler等人(2002)。“Anall-organic sensor-transistor based on a novelelectrochemical transducer  concept printed electrochemicalsensors on paper.”Sensors and Actuators B 86：193-197]。