[发明专利]高速线性运动机构

权利要求书

1.一种运动机构，包括：

构造用于支承有效载荷的有效载荷支承部分；

接地部分；

在第一接触点连接到有效载荷支撑部分上并在第二接触点连接到接地部分上的第一侧部分；

在第三接触点连接到有效载荷支撑部分并在第四接触点连接到接地部分上的第二侧部分；

第一转换器，它设置成在受驱动时在第一线性方向上对第一侧部分提供力，从而该第一侧部分在基本正交于第一方向的第二方向上在第一接触点处对有效载荷支撑部分提供力；及

第二转换器，它设置成在受驱动时在第三线性方向上对第二侧部分提供力，从而该第二侧部分在基本正交于第三方向的第四方向上在第三接触点处对有效载荷支撑部分提供力。

2.如权利要求1所述的运动机构，其中当第一方向和第三方向彼此相反，并且第二方向基本与第四方向相同。

3.如权利要求1所述的运动机构，其中接触点包括刚性或半刚性材料。

4.如权利要求1所述的运动机构，其中接触点包括刚性或半刚性材料，并且有效载荷支撑部分、第一和第二侧部分和接地部分整体形成。

5.如权利要求1所述的运动机构，其中接触点、有效载荷支撑部分、第一和第二侧部分和接地部分都属于相同材料。

6.如权利要求5所述的运动机构，其中接触点、有效载荷支撑部分、第一和第二侧部分和接地部分包括钛合金、铝合金或钢中的至少一种。

7.如权利要求1所述的运动机构，其中当第一转换器受驱动并在第一方向上对第一侧部分提供力时，第一侧部分绕着第二接触点转动，并且当第二转换器受致动并在第三方向上对第二侧部分提供力时，该第二侧部分绕着第四接触点转动。

8.如权利要求7所述的运动机构，其中第一和第二侧部分基本为L形。

9.如权利要求1所述的运动机构，其中该接地部分包括接地块，并且该机构还包括：

至少一个喷嘴，它设置在该接地块上，以朝有效载荷支撑部分提供喷洒。

10.如权利要求1所述的运动机构，还包括：

设置成探测有效载荷支撑部分的位置的位置探针。

11.如权利要求10所述的运动机构，其中该位置探针为电容表、激光测距仪或干涉仪中的至少一个。

12.如权利要求1所述的运动机构，还包括：

连接到有效载荷支撑部分上的有效载荷，其中该有效载荷包括切割工具或激光头中的至少一个。

13.如权利要求12所述的运动机构，其中有效载荷包括钻石切割工具。

14.如权利要求1的运动机构，还包括：

接地部分的至少一部分和有效载荷之间的约束层，它构造成对有效载荷支撑部分的运动提供粘性阻尼。

15.如权利要求14所述的运动机构，其中该约束层包括聚丙烯。

16.如权利要求1所述的运动机构，其中第一和第二转换器包括压电堆。

17.如权利要求1所述的运动机构，其中有效载荷支撑部分的运动的响应频率大于大约4kHz。

18.如权利要求1所述的运动机构，其中第一转换器和第二转换器构造成具有相对于彼此的相对极性。

19.一种运动机构，包括：

构造成支撑有效载荷的有效载荷支撑部分；

接地部分；

在第一接触点处连接到有效载荷支撑部分上并在第二接触点处连接到接地部分上的第一侧部分；

在第三接触点处连接到有效载荷支撑部分并在第四接触点处连接到接地部分上的第二侧部分；及

第一转换器，它设置成在受致动时在第一线性方向上对第一侧部分提供力，从而该第一侧部分在基本正交于第一方向的第二方向上在第一接触点处对有效载荷支撑部分提供力。