[发明专利]微电子机械系统（MEMS）电容器、电感器及相关系统和方法

权利要求书

1.一种微电子机械系统(MEMS)可变电容器，包括：

(a)隔离开的第一和第二驱动电极，并且当在所述第一和第二驱动电极之间施加电压时，所述驱动电极中的至少一个相对于另一个驱动电极可移动；

(b)第一电容板，其附着到所述第一驱动电极并与所述第一驱动电极电绝缘；以及

(c)第二和第三电容板，其附着到所述第二驱动电极并与所述第二驱动电极电绝缘，并且与所述第一电容板隔离，用于当在所述第一和第二驱动电极之间施加电压时，相对于所述第二和第三电容板移动所述第一电容板以改变第二和第三电容板之间的电容。

2.如权利要求1所述的微电子机械系统可变电容器，其中所述第二和第三电容板共面。

3.如权利要求1所述的微电子机械系统可变电容器，包括具有第一和第二端部的的横梁，其中所述第一驱动电极附着到所述横梁的所述第一端部，所述第一电容板附着到所述横梁的所述第二端部，其中当在所述第一和第二驱动电极之间施加电压时，所述横梁可偏斜，用于使所述第一电容板相对于所述第二和第三电容板移动。

4.如权利要求3所述的微电子机械系统可变电容器，其中所述第一电容板与所述第二和第三电容板间隔0.5到4微米。

5.如权利要求3所述的微电子机械系统可变电容器，包括附着到所述横梁的第四电容板，其中所述第一和第四电容板附着到所述横梁的相对侧。

6.如权利要求1所述的微电子机械系统可变电容器，包括衬底，其中所述第二和第三电容板附着到所述衬底表面。

7.如权利要求6所述的微电子机械系统可变电容器，其中所述第一电容板附着到所述衬底表面，并且其中所述衬底使所述第一电容板与所述第二和第三电容板电绝缘。

8.一种用于制造微电子机械系统(MEMS)可变电容器的方法，所述方法包括：

(a)在掩埋在衬底中的第一和第二导线上沉积第一导电层；

(b)通过去除所述第一导电层的至少一部分在所述第一和第二导线上分别形成第一和第二电容板；

(c)在所述第一和第二电容板上沉积牺牲层；

(d)在所述牺牲层上沉积第二导电层；

(e)通过去除所述第二导电层的一部分形成第三电容板；

(f)去除足够量的牺牲层以便限定所述第三电容板与所述第一和第二电容板之间的间隙；以及

(g)形成与所述第三电容板连接的可移动横梁，用以相对于所述第一和第二电容板移动所述第三电容板以改变所述第一和第二电容板之间的电容。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述第一和第二电容板共面。

10.如权利要求8所述的方法，其中所述第一电容板与所述第二和第三电容板间隔0.5到4微米。

11.如权利要求8所述的方法，包括：

(a)在横梁上与所述第三电容板的连接相对的一侧上沉积第三导电层；以及

(b)去除所述第三导电层的一部分以形成第四电容板。

12.一种电容器系统，包括：

(a)多个可变电容器，每个可变电容器包括：

(i)隔离开的第一和第二驱动电极，并且当在所述第一和第二驱动电极之间施加电压时，所述驱动电极中的至少一个相对另一个驱动电极可移动；

(ii)附着到所述第一驱动电极并与所述第一驱动电极电绝缘的第一电容板；以及

(iii)第二电容板，其附着到所述第二驱动电极并与所述第二驱动电极电绝缘，并且与所述第一电容板隔离，用于当在所述第一和第二驱动电极之间施加电压时，相对于另一电容板移动所述电容板中的至少一个，以改变所述第一和第二电容板之间的电容；以及

(b)包括一表面的衬底，所述表面包括第一和第二区域，其中所述驱动电极设置在所述第一区域上，并且所述电容板设置在所述第二区域上，用于减少所述驱动电极和电容板上的信号之间的寄生效应。