[发明专利]塑性材料膜装置的制备方法及由此得到的装置

说明书

本发明涉及膜装置领域。它更具体地涉及塑性材料膜微结构的制 备方法，以及由该方法得到的装置。

本发明尤其有利于在显微技术领域中的应用，例如用于生产显微 透镜、微通道、波导等等，但本发明不仅仅于此。

更确切地说，本发明涉及膜装置的制备方法，其特征在于，该方 法在于：

-提供基体，

-沉积液体到该基体，和

-通过低压沉积方法，用形成所述膜的塑性材料的均匀连续薄膜 覆盖所述液体和至少与所述液体邻接的基体部分。

本发明还涉及通过上述方法得到的装置的各种实施方案，其中该 基体与该液体和该膜一起形成光学透镜、波导、传动装置或流体通道。

本发明最后涉及膜的制备方法，其特征在于，该方法在于：

-提供基体，

-沉积液体到该基体，

-通过低压沉积方法，用形成所述膜的塑性材料的均匀连续薄膜 覆盖所述液体，然后

-将所述膜与该液体分离。

通过阅读下面结合附图的描述，本发明的其它特征将显得更加清 楚，其中图1-8展示了根据本发明方法得到的各种膜装置，以及它们 的实施方式。

正如上面提到的，本发明实质上涉及在液体上和任选地在至少其 基体的邻接部分上沉积薄膜。该膜有利地由以其涂覆性能闻名的物质 构成，如帕利灵(parylène)。

帕利灵(也被称作聚对二甲苯)的沉积方法是本领域技术人员所熟 知的。实际上，帕利灵是属于塑料家族的聚合物，在电子、医药、光 学、空间以及尤其是微观力学领域的各种应用中用作涂层。通过热解 二聚对二甲苯在低压(7Pa)下沉积，它在室温下在各种类型的基体上聚 合，形成均匀一致的无色涂层，完全地贴合任何凸起和空腔，并具有 大约100纳米至60微米的厚度。

帕利灵能够有效地保护各种材料如金属、纺织品、纸、玻璃、塑 料等免受化学产品、酸和溶剂的浸湿、腐蚀和蚀刻。它形成了电绝缘、 热稳定和生物相容性的隔层。它的沉积可以有利地使用Comelec公司 的设备(La Chaux-de-Fonds，CH)来进行。

尽管在许多行业中被广泛地用在各种应用中，但帕利灵涂层迄今 为止仅限于固体材料。

通过将帕利灵的沉积延伸到一些符合特定条件的液体材料，本发 明打开了一个全新的研究领域并且提供了新的有创造力的可能性。

根据本发明，在标准条件下，在液体-基体组合上进行帕利灵的沉 积。在680℃下进行二聚对二甲苯的热解，对二甲苯单体聚合到保持 在室温下的样品的表面上。沉积室中的压力为7Pa，液体的饱和蒸气 压必须低于这个压力，以免在沉积过程中发生蒸发。理想地，液体的 饱和蒸气压小于或等于该沉积压力的十分之一，或0.7Pa。然而，对 于一些非常特别的应用来说，就如后面所解释的，该液体的饱和蒸气 压必须接近该沉积压力。

另外，所使用的液体必须是与帕利灵在化学上无反应性的。已经 成功地试验了例如各种油，包括涡轮分子泵油、光学油、硅油、甘油， 等等。在下表中提供了非穷举的能够用于帕利灵沉积的各种液体以及 它们的性能。当然，符合上述条件的任何液体都可以用于帕利灵的沉 积。