[发明专利]投影光学系统

权利要求书

1.一种用于将第一物体成像到第二物体区域中的投影光学系统，该 投影光学系统包括：

沿该投影光学系统的光轴布置的多个透镜；

其中，所述多个透镜可被分成为多个不重叠的透镜组，使得各个透 镜组的总折射力是负折射力或正折射力；

其中，第一透镜组具有负折射力；

其中，紧邻所述第一组布置的第二组具有正折射力；

其中，紧邻所述第二组布置的第三组具有负折射力；

其中，紧邻所述第三组布置的第四组具有正折射力；

其中，所述第四透镜组是在所有透镜组中最靠近所述第二物体布置 的透镜组；

其中，所述第四透镜组中的各个透镜的折射力均等于或大于0，并 且

其中，所述第三透镜组中紧邻所述第四透镜组的一透镜布置的透镜 具有面向所述第二物体的凹形表面。

2.一种用于将第一物体成像到第二物体区域中的投影光学系统，该 投影光学系统包括：

沿该投影光学系统的光轴布置的多个透镜；

其中，所述多个透镜可被分成为多个不重叠的透镜组，使得各个透 镜组的总折射力是负折射力或正折射力；

其中，第一透镜组具有负折射力；

其中，紧邻所述第一组布置的第二组具有正折射力；

其中，紧邻所述第二组布置的第三组具有负折射力；

其中，紧邻所述第三组布置的第四组具有正折射力；

其中，所述第四透镜组是在所有透镜组中最靠近所述第二物体布置 的组；

其中，所述第四透镜组的各个透镜的折射力均等于或大于0，并且

其中，将所述光轴上的布置在所述第一物体的区域中的第一位置成 像到所述光轴上的布置在所述第二物体的区域中的第二位置上的一束成 像射线的直径在所述光轴上的布置在所述第三透镜组内的第三位置上具 有最小截面，并且其中仅有布置在所述第三位置和所述第二位置之间的 一对透镜具有相反的折射力，使得该对透镜中的第一透镜的折射力和该 对透镜中的第二透镜的折射力符号相反。

3.根据权利要求2所述的投影光学系统，其中，在所述光轴上的第 四位置处布置有孔径光阑，并且其中，所述一对透镜布置在所述第三位 置和所述第四位置之间。

4.根据权利要求2或3所述的投影光学系统，其中，所述第三透镜 组的紧邻所述第四透镜组的一透镜布置的透镜具有面向所述第二物体的 凹形表面。

5.根据权利要求1至4中一项所述的投影光学系统，其中，所述第 四透镜组还包括孔径光阑。

6.根据权利要求1至5中一项所述的投影光学系统，其中，所述第 四透镜组的各个透镜的折射力均大于0。

7.根据权利要求1至6中一项所述的投影光学系统，其中，折射力 等于或大于0的透镜的有效直径中的最大有效直径比具有负折射力的任 何透镜的有效直径大的因数在1.1到2.5之间。

8.根据权利要求1至7中一项所述的投影光学系统，其中，具有负 折射力的任何透镜的有效直径小于L/5，其中L是所述第一物体和所述第 二物体之间的距离。

9.根据权利要求1至8中一项所述的投影光学系统，其中，所述第 一和第三透镜组中的各个透镜的直径均小于所述第二透镜组中任一透镜 的直径。

10.根据权利要求1至9中一项所述的投影光学系统，其中，所述 第一透镜组中的各个透镜的折射力均为负折射力。

11.根据权利要求1至10中一项所述的投影光学系统，其中，所述 第二透镜组中的各个透镜的折射力均大于或等于0。

12.根据权利要求1至11中一项所述的投影光学系统，其中，所述 第三组透镜中的各个透镜的折射力均为负折射力。

13.根据权利要求12所述的投影光学系统，其中，所述第三组透镜 包括至少两个透镜。