[发明专利]雕刻可见标记的系统有效
申请号: | 200580044521.6 | 申请日: | 2005-12-21 |
公开(公告)号: | CN101088120A | 公开(公告)日: | 2007-12-12 |
发明(设计)人: | J·A·L·J·拉伊马克斯;G·A·L·利恩克尼格特;J·弗比斯特;I·P·D·尤本斯 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G11B7/007 | 分类号: | G11B7/007;G11B23/40;G11B7/0045;B41J3/407 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李亚非;刘红 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 雕刻 可见 标记 系统 | ||
1.一种用于在介质(11)上雕刻可见标记的设备,所述介质具有标记面,其设置有辐射敏感层,用于通过利用辐射束(24)雕刻基本平行的点轨迹的图案来产生可见标记,
所述设备包括:
头(22),用于提供辐射束,以便在辐射敏感层上产生雕刻点,从而雕刻可见标记,
控制单元(20),包括用于根据标记数据来控制雕刻的标记控制装置(33),和
定位装置(25),用于在与点轨迹的纵向方向横切的横向方向上对雕刻点进行定位,所述定位装置(25)包括线路定位装置和精细定位装置,其中线路定位装置用于利用头的运动在横向方向上对雕刻点进行线路定位,而精细定位装置用于在横向方向上对雕刻点进行精细定位,以及
生成器装置(32),用于在头运动之前或之后的基本平行轨迹的至少一个边界轨迹期间,临时将加宽信号(35)施加给精细定位装置,以便在横向方向上加宽边界轨迹,其中在执行头(22)的运动时,由线路定位装置进行的大的头运动向前步骤利用施加给精细定位装置的相应的反作用信号进行补偿。
2.如权利要求1所述的设备,其中生成器装置(32)用于施加周期性信号分量、噪音信号分量或DC信号分量至少之一,以构成加宽信号(35)。
3.如权利要求2所述的设备,其中标记控制装置(33)用于控制所述生成器装置(32),从而在相邻边界轨迹中控制加宽信号的振幅、相位和/或频率,以减少由于该加宽信号而引起的标记的可见劣化。
4.如权利要求3所述的设备,其中标记控制装置(33)用于控制所述生成器装置(32),从而在相邻边界轨迹中控制加宽信号的振幅,以便在头运动之前的多数边界轨迹中增加和在头运动之后的多数边界轨迹中减少。
5.如权利要求3所述的设备,其中标记控制装置(33)用于控制所述生成器装置(32),从而在头运动之前的边界轨迹和在头运动之后的边界轨迹中将加宽信号的振幅控制为预定值,而在其他轨迹中将该振幅控制为基本上零值。
6.如权利要求1所述的设备,其中标记控制装置(33)用于控制辐射束的功率以适于在边界轨迹中为较高值,从而补偿由于该加宽信号而引起的边界轨迹的长度增加。
7.如权利要求1所述的设备,其中所述控制单元(20)用于探测介质的类型,并且所述标记控制装置(33)用于根据已探测到的介质的类型来控制所述生成器装置(32)。
8.一种用于扫描设备中利用辐射束在介质上雕刻可见标记的方法,
所述介质具有标记面,其设置有辐射敏感层,用于通过利用辐射束雕刻基本平行的点轨迹的图案来产生可见标记,
所述设备包括:
头(22),用于提供辐射束,以便在辐射敏感层上产生雕刻点,从而雕刻可见标记,
定位装置(25),用于在与点轨迹的纵向方向横切的横向方向上对雕刻点进行定位,所述定位装置(25)包括线路定位装置和精细定位装置,其中线路定位装置用于利用头的运动而在横向方向上对雕刻点进行线路定位,而精细定位装置用于在横向方向上对雕刻点进行精细定位,其中在执行头(22)的运动时,由线路定位装置进行的大的头运动向前步骤利用施加给精细定位装置的相应的反作用信号进行补偿,以及
该方法包括以下步骤(48,50):在头运动之前或之后的基本平行轨迹的至少一个边界轨迹期间,临时将加宽信号施加给精细定位装置,以便在横向方向上加宽边界轨迹.
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