[发明专利]具有封闭壳体的相对运动传感器

权利要求书

1.一种光学输入装置(110)，所述光学输入装置(110)包括用于测量所述装置(110)相对于表面(120)的运动的相对运动传感器，所述装置(110)包括壳体(112)，所述壳体(112)限定封闭空间(123)，在所述封闭空间(123)中设有光学测量模块(114)，所述光学测量模块(114)包括具有激光腔的至少一个激光器(3)，所述激光器(3)用于产生测量束(13)，所述壳体(112)包括基部(116)，所述基部(116)的至少一部分(124)包括所述测量束(13)能够透过的材料，所述表面(120)由所述测量束(13)穿过所述材料照明，其中，由所述表面(120)所反射的所述测量束辐射的至少一些再次进入所述激光腔，所述光学测量模块(114)还包括测量装置(4)，所述测量装置(4)用于测量由再次进入所述激光腔的经过反射的测量束辐射的干扰所引起的所述激光腔的运行的变化以及所述激光腔中的光波的变化，所述光学测量模块(114)还包括提供表示所述变化的电信号的装置，用于确定所述装置(110)相对于所述表面(120)的运动。

2.如权利要求1所述的装置(110)，其特征在于：所述基部(116)用所述测量束(13)能够透过的材料形成发。

3.如权利要求1所述的装置(110)，其特征在于：所述基部(116)包括所述测量束(13)能够透过的材料的部分(124)，所述部分(124)安装在所述基部(116)中或与所述基部(116)整体形成。

4.如权利要求1所述的装置(110)，其特征在于：对所述壳体(112)的所述基部(116)进行布置和构造，以使在使用时所述透明材料(124)与所述表面(120)成隔开的关系。

5.如权利要求2所述的装置(110)，其特征在于：所述透明部分(124)至少部分地呈非平面形。

6.如权利要求5所述的装置(110)，其特征在于：所述透明部分(124)是弯曲的或分成块面的。

7.如权利要求4所述的装置(110)，其特征在于：设有一个或多个间隔物(118)以保持所述装置(110)的所述基部(116)与所述表面(120)成隔开的关系。

8.如权利要求1所述的装置(110)，其特征在于：所述封闭空间(123)基本上是液密形式。

9.一种用于根据权利要求1的光学输入装置(110)的壳体(112)，所述壳体(112)包括上壳和基板(116)，所述上壳和所述基板(116)可相互连接，以形成所述封闭空间(123)。

10.一种制造光学输入装置(110)的方法，所述光学输入装置(110)包括用于测量所述装置(110)相对于表面(120)的运动的相对运动传感器，所述方法包括在限定封闭空间(123)的壳体(112)内设制光学测量模块(114)，所述光学测量模块(114)包括具有激光腔的至少一个激光器(3)，所述激光器(3)用于产生测量束(13)，所述壳体(112)包括基部(116)，所述基部(116)的至少一部分(124)包括所述测量束(13)能够透过的材料，所述光学测量模块(114)布置成使所述表面(120)由所述测量束(13)穿过所述透明材料(124)照明，且由所述表面(120)所反射的所述测量束辐射的至少一些再次进入所述激光腔，所述光学测量模块(114)还包括测量装置(4)，所述测量装置(4)用于测量由再次进入所述激光腔的经过反射的测量束辐射的干扰所引起的所述激光腔的运行的变化以及所述激光腔中的光波的变化，所述光学测量模块(114)还包括提供表示所述这些变化的电信号的装置，用于确定所述装置(110)相对于所述表面(120)的运动。