[发明专利]形成用于光刻转印的准直UV光线的方法和设备

权利要求书

1.一种形成准直UV辐射的方法，用于将图案光刻转印到涂有光敏聚合物的基底上，该方法包括以下步骤：

(a)提供多个小型的UV辐射源，所述辐射源的UV辐射通过较短

的准直光学装置被准直，

(b)将所述小型的UV辐射源附接到支撑板，以及

(c)将所述支撑板安装在扫描滑动片上，并且，通过与所述基底

边之一平行地移动所述扫描滑动片来曝光所述基底。

2.如权利要求1所述的方法，其中，每个小型的UV辐射源通过透镜被准直。

3.如权利要求2所述的方法，其中，将全部所述透镜都装配在多透镜板上。

4.如权利要求3所述的方法，其中，多透镜板具有在1°和10°之间的固定的准直角度，所述准直角度根据洁净室的质量而使用。

5.如权利要求2所述的方法，其中，所述多透镜板具有在1°和10°之间可变的可调节的准直角度，该准直角度通过与所述多透镜板通信的电动调节器进行调节。

6.如权利要求5所述的方法，其中，根据规定的作业参数，在程序控制下进行所述准直角度的调节。

7.如权利要求1所述的方法，其中，所述小型的UV辐射源是多臂UV液体光导的输出。

8.如权利要求1所述的方法，包括这样的设备，在所述设备中，所述小型的UV辐射源是UV LED的输出。

9.如权利要求8所述的设备，包括：

(a)水银短弧灯，用于产生UV辐射；椭圆体，其将所述UV辐射会聚在焦点上；

(b)介质UV反射镜，其使所述UV辐射偏转到置于超过所述焦点的透镜光栅板上；

(c)透镜光栅板，其分开所述UV辐射，并且将分量的分离的辐射束聚焦在多臂UV液体光导的输入端上；

(d)多臂UV液体光导，其以低的损耗将所述UV辐射传输到扫描滑动片上；以及

(e)分配光学装置，其将从所述多臂UV液体光导发出的UV束分布在小型的UV辐射源支撑板上。

10.如权利要求9所述的设备，其中，所述水银短弧灯、灯电源单元和所述介质UV反射镜被安装在独立的外壳中。

11.如权利要求10所述的设备，其中，所述独立的外壳定位在与小型的UV辐射源支撑板环境分离的环境中。

12.如权利要求11所述的设备，其中，所述小型的UV辐射源支撑板环境是洁净室，并且，所述独立的外壳定位在所述洁净室的外面。

13.如权利要求8所述的设备，其中，所述UV二极管以至少一行的形式布置，所述行的长度大于所述基底的较小边。

14.如权利要求13所述的设备，其中，所述UV LED以由1个、4个、8个、12个或者16个LED构成的组的形式布置，以形成方形，该方形具有相对于所述行的长度和扫描方向旋转45°的边。

15.如权利要求14所述的设备，其中，每个方形的对角线通过所述准直透镜放大为所述UV LED组的间距的两倍，使得每个组的UV辐射能加入到其相邻的组的辐射能上，以在所述基底上形成均匀的值。

16.如权利要求14所述的设备，其中，所述UV LED组的行以至少两行的形式布置，每个组的对角线通过所述准直透镜放大为使用下述公式计算的值：2×组的间距/行数，并且，每行与相邻的行移位了使用下述公式计算的值：组的间距/行数。

17.如权利要求8所述的设备，其中，所述支撑板还包括散热板。

18.如权利要求17所述的设备，其中，所述散热板包括使用水冷却方式冷却的散热器。

19.如权利要求18所述的设备，其中，所述冷却不被控制，直到所述散热板达到最低的温度，优选6℃。

20.如权利要求8所述的设备，其中，所述UV LED是可控制的，并且可以以编程的方式开关，以当所述扫描滑动片通过所述基底时仅仅曝光所述基底的期望区域。

21.如权利要求8所述的设备，其中，在所述基底上的UV曝光的强度可以通过控制扫描速度和UV LED的电流来控制。