[发明专利]包括可置换可堆叠盘的固态前驱体传输系统

权利要求书

1.一种用在膜前驱体蒸发系统中的可置换膜前驱体支撑组件，其中，所述膜前驱体蒸发系统包括具有外容器壁和底部的容器以及被配置为可密封地耦合到所述容器的盖，所述盖包括被配置为可密封地耦合到处理室的出口，所述处理室被配置为在衬底上沉积薄膜，所述组件包括：

可置换盘，所述可置换盘支撑膜前驱体，并被配置为在所述膜前驱体蒸发系统中与一个或多个额外可堆叠盘相堆叠，

其中所述可置换盘包括：限定在外边缘和内边缘之间的底支撑表面；可堆叠外壁，其从所述外边缘向上延伸并终止于上支撑边缘，所述上支撑边缘用于支撑所述一个或多个额外可堆叠盘；以及内壁，所述内壁短于所述可堆叠外壁，并从所述底支撑表面的所述内边缘向上延伸，

所述膜前驱体保持在所述可堆叠外壁和所述内壁之间、所述底支撑表面上，

其中，所述内壁限定出所述容器中的中央流动通道，并且所述可堆叠外壁、所述底支撑表面和所述内壁限定出盘空间，并且所述可置换盘包括所述可堆叠外壁中的一个或多个盘开口，所述盘开口被配置为使来自载气供应系统的载气通过所述一个或多个盘开口、从所述可堆叠外壁、在所述膜前驱体上方和所述内壁上方朝向所述中央流动通道流动，并向上通过所述中央流动通道以与膜前驱体蒸汽一同经过所述盖中的所述出口排出。

2.如权利要求1所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述可置换盘支撑金属前驱体。

3.如权利要求1所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述可置换盘支撑固态前驱体。

4.如权利要求3所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述固态前驱体包括固态粉末形式。

5.如权利要求3所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述固态前驱体包括固态片形式。

6.如权利要求1所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述可置换盘支撑羰基金属膜前驱体。

7.如权利要求6所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述羰基金属膜前驱体包括W(CO)₆、Mo(CO)₆、Co₂(CO)₈、Rh₄(CO)₁₂、Re₂(CO)₁₀、Cr(CO)₆、Ru₃(CO)₁₂或Os₃(CO)₁₂。

8.如权利要求1所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述可置换盘是圆柱形的，具有所述内壁处的内直径和所述可堆叠外壁处的外直径。

9.如权利要求8所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述可堆叠外壁处的外直径处于从所述外容器壁的内直径的75％到99％的范围内。

10.如权利要求8所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述可堆叠外壁的外直径处于从所述外容器壁的内直径的85％到99％的范围内。

11.如权利要求8所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述内壁处的内直径处于从1cm到30cm的范围内。

12.如权利要求8所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述内壁处的内直径处于从5cm到20cm的范围内。

13.如权利要求1所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述一个或多个盘开口包括一个或多个缝隙。

14.如权利要求1所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述一个或多个盘开口包括一个或多个圆形孔。

15.如权利要求14所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述一个或多个圆形孔中的每一个的直径处于从0.4到1mm的范围内。

16.如权利要求14所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述一个或多个圆形孔的数目处于从2到1000个孔的范围内。

17.如权利要求14所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述一个或多个圆形孔的数目处于从50到100个孔的范围内。

18.如权利要求1所述的可置换膜前驱体支撑组件，其中所述可置换盘的所述可堆叠外壁的高度处于从5mm到50mm的范围内。