[发明专利]滚动引导装置

权利要求书

1.一种滚动引导装置，具有：轨道部件、经由多个滚动体而移动自如地安装在上述轨道部件上的移动体，

上述多个滚动体，设置在无限循环通道上，该无限循环通道包括：形成在上述轨道部件与上述移动体之间的负荷滚动通道、和以连结该负荷滚动通道的一端与另一端的方式形成在上述移动体上的无负荷滚动通道，其特征在于，

对上述多个滚动体、上述负荷滚动通道或上述无负荷滚动通道的至少一个的表面，形成在层状结晶化合物中导入了金属原子的固体润滑膜，

上述固体润滑膜，膜厚在0.5～3μm的范围内，

上述层状结晶化合物包含MoS₂、WS₂或石墨的至少1种化合物，

上述金属原子，包含钛(Ti)、钨(W)、铝(Al)、铬(Cr)、锆(Zr)、硅(Si)或硼(B)的至少1种元素，

上述固体润滑膜相对于上述多个滚动体的表面形成，

在上述多个滚动体之间，设置比上述滚动体以及上述固体润滑膜柔软的间隔部件，

该间隔部件，是直径在上述滚动体的直径以下的间隔珠或保持件。

2.如权利要求1所述的滚动引导装置，其特征在于，上述固体润滑膜利用封闭磁场不均衡磁控溅射法而成膜。

3.如权利要求1或2所述的滚动引导装置，其特征在于，上述固体润滑膜中的上述金属原子的含有率在20％以下。

4.如权利要求1或2所述的滚动引导装置，其特征在于，上述固体润滑膜，在使用洛氏的金刚石压头的划痕硬度试验中临界紧贴力在40N以上。

5.如权利要求1或2所述的滚动引导装置，其特征在于，上述固体润滑膜，维氏硬度(Hv)在500以上，且在1×10^-3Torr以下的真空中与硬度HRC55以上的钢材的摩擦系数在0.07以下。