[发明专利]适于大面积衬底的电容性耦合RF等离子体反应器的阻抗匹配无效
| 申请号： | 200580038684.3 | 申请日： | 2005-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN101057310A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | A·贝林格 | 申请（专利权）人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;王小衡 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适于 大面积 衬底 电容 耦合 rf 等离子体 反应器 阻抗匹配 | ||
【权利要求书】：
1.一种RF等离子体反应器，包括：
真空室(18)；
RF电源(12)；
匹配网络(14)；
位于真空室内部的第一金属板(22)和第二金属板(20)；
被限定在第一和第二金属板之间的等离子体放电区(30)；
电连接到第一金属板(22)、匹配网络(14)和RF电源(12)的馈送元件(26)；以及
阻抗变换电路(42)，其电连接到第一金属板(22)并且包括电连接到第一金属板(22)的变换电路馈送元件(44)和电连接到地的阻塞可调电容器CBT，
其中馈送元件(26)和变换电路馈送元件(44)位于真空室(18)的内部并且所述阻塞可调电容器CBT位于所述真空室(18)的外部。
2.根据权利要求1的等离子体反应器，其中第一金属板(22)电连接到RF电源(12)，第二金属板(20)电连接到地，并且阻抗变换电路(42)电连接到地。
3.根据权利要求2的等离子体反应器，其中馈送元件(26)电连接到RF电源(12)，而变换电路馈送元件(44)电连接到地，以及第二金属板(20)电连接到地。
4.一种在真空中沉积半导电层的方法，包括以下步骤：
提供根据权利要求1的等离子体反应器；
将衬底放置在第二金属板(20)上；
将RF功率输送给等离子体；
利用阻抗变换电路(42)将反应器阻抗变换为中间阻抗；以及
利用馈送元件(26)将中间阻抗变换为馈通阻抗，由此提高了馈通阻抗。
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