[发明专利]基座包含交叉影线图案的表面声波系统

说明书

技术领域

[001]实施例一般涉及感测设备和技术。实施例还涉及交叉指型表面波传感器设备，如表面声波(SAW)设备和传感器。实施例还涉及用于监控车辆轮胎的轮胎压力传感器。

背景技术

[002]声波传感器用在多种感测应用如温度和/或压力感测设备和系统中。表面波传感器的例子包括诸如声波传感器的设备，它可用于检测物质(如化学品)的存在。由于对表面负荷和低噪音的高灵敏度，作为传感器的声学波或声波(如SAW/BAW)设备可提供高灵敏度的检测机制，它起因于它们固有的高品质因数。表面声波设备通常使用光刻技术和放在压电材料上的梳状交叉指型换能器被制造。表面声波设备可有延迟线或共振器配置。

[003]表面声波(SAW)传感器已被有效利用的一种应用包括车辆轮胎的压力和/或温度的感测。轮胎压力传感器被装配成SAW管芯浮动在基座上的形式，其中SAW管芯最终被线焊在基座上。该配置的一个问题是SAW管芯在线焊装配过程中通常不能保持居中，导致较低的成品率。

发明内容

[004]下面提供的发明内容帮助理解本发明独特的创新特征但并不旨在完整描述。本发明不同方面的完整评价可通过把整个说明书、权利要求书、附图和摘作为一个整体而获取。

[005]因此本发明的一个方面是提供改进的传感器设备和感测技术。

[006]本发明的另一方面是提供改进的表面波传感器设备。

[007]本发明还有一个方面是提供改进的交叉指型表面波设备用于压力感测目的。

[008]本发明的上述各方面和其它目标以及优势现在可如本文所描述被实现。本文公开一种表面声波管芯系统和方法，包括含有在基座与封盖之间布置并密封的一个或多个表面声波管芯的表面声波传感器。粘和剂一般用于将一个或多个表面声波管芯固定在基座上，它配置有在其上形成的交叉影线图案以允许粘合剂附着在基座上。粘合剂被放在表面声波管芯将被定位的位置下面。之后表面声波管芯被压入粘合剂，由此通过随后粘合剂的固化，表面声波管芯被牢固地固定在适当的位置，同时保持表面声波传感器相关的感测应用所要求的灵活性。

[009]因此，表面声波管芯被初始定位，同时仍然允许它通过位于表面声波管芯下的粘合剂而随着压力弯曲。交叉影线图案与表面声波管芯在尺寸上相同并可提供传感器放置和粘合剂附着的直观位置。表面声波管芯可包括一个或多个交叉指型换能器，它在基座和封盖包围的压电衬底上形成。

附图说明

[0010]被结合形成说明书的一部分的附图进一步描述本发明并且连同本发明的详细说明用于解释本发明的原理，其中贯穿各个视图的相似附图标记代表相同或功能相似的元件。

[0011]图1描述交叉指型表面波设备的透视图，它可根据本发明的一个实施例被实现。

[0012]图2描述根据本发明的一个实施例的沿着图1中交叉指型表面波设备的线A-A的横断面视图。

[0013]图3描述交叉指型表面波设备的透视图，它可根据本发明的备选实施例被实现。

[0014]图4描述根据本发明的一个实施例的沿着图3中交叉指型表面波设备的线A-A的横断面视图。

[0015]图5描述轮胎传感器系统的分解图，它可根据本发明的备选实施例被实现。

[0016]图6描述传感器的顶视图和侧视图，它可根据本发明的一个实施例被实现。

[0017]图7描述声波传感器系统的框图，它可根据本发明的优选实施例被实现。

[0018]图8描述声波传感器系统的框图，它可根据本发明的备选实施例被实现。

具体实施方式

[0019]在这些非限制的例子中讨论的特定值和配置可被改变并且被引用仅为了描述至少一个本发明的实施例而不旨在限制本发明的范围。

[0020]图1描述交叉指型表面波设备100的透视图，它可根据本发明的一个实施例被实现。表面波设备100一般包括在压电衬底104上形成的交叉指型换能器106。表面波设备100可在传感器芯片环境中被实现。交叉指型换能器106可以电极的形式配置。覆盖层102可被选择从而将被测量的特定种类被覆盖层102吸收，由此改变交叉指型表面波设备100的声学特性。各种备选覆盖层可用于实现覆盖层102。声学特性的变化可被检测并用于识别或检测被覆盖层102吸收和/或吸附的物质或种类。因此覆盖层102可被激发而实现表面声学模型。然而这样的激发还可产生多种交叉指型表面波设备100的其它模型。