[发明专利]在单基板处理期间从基板中去除微量液体的装置和方法

权利要求书

1.一种用于干燥至少一张基板的装置，包括：

含有夹具的可旋转支承件，用于通过仅接触基板的周边区域来将基板支承为基本水平定向；

所述夹具包括接触并支承所述基板的周边区域的一个或多个接触面；并且

其中所述一个或多个接触面包含毛细材料。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括用于将所述基板固定至所述夹具的一个或多个夹钳，所述一个或多个夹钳具有在旋转期间接触所述基板并将所述基板固定至所述夹具的接合面，其中所述接合面包含毛细材料。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹具是基本呈环形的夹具。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹具的接触面完全由所述毛细材料形成。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述夹具完全由所述毛细材料构造。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，对于每个接触面，所述夹具包含从所述接触面的毛细材料中伸出并贯穿所述夹具的毛细材料通道。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹具包括从所述夹具内表面中伸出的凸缘，所述凸缘形成具有底板和从底板中向上伸出的壁的阶梯状凹槽，并且当将基板放置在所述夹具上时，所述凹槽的底板接触所述基板周边区域的底面而所述垂直壁接触所述基板的边缘，构成所述接触面的所述底板和壁包含所述毛细材料。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括从所述凹槽的接触面的毛细材料中伸出并贯穿所述夹具的至少一个毛细材料通道。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述毛细材料通道具有在所述夹具外部上的露出面。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括从所述接触面的毛细材料中伸出并贯穿所述夹具的至少一个毛细材料通道。

11.如权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述夹具是包括从环形夹具内表面中伸出的凸缘的环形夹具，所述凸缘形成具有底板和从底板中向上伸出的壁的阶梯状凹槽；

当将基板放置在所述夹具上时，所述凹槽的底板接触所述基板周边区域的底面而所述垂直壁接触所述基板的边缘，构成所述接触面的所述底板和壁含有所述毛细材料；以及

由所述毛细材料构成的通道从所述接触面的毛细材料中伸出、贯穿所述夹具直至所述环形夹具的外表面。

12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括处理舱，所述可旋转支承件被放置在所述处理舱内。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，还包括设置用来向被置于所述可旋转支承件上的基板施加弯液面干燥流体的干燥流体源。

14.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述毛细材料是蜂窝状毛细材料。

15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述蜂窝状毛细材料是多孔氟聚物或PP。

16.一种用于干燥至少一张基板的装置，包括：

具有从内表面中突出的凸缘的可旋转支承件，所述凸缘在所述夹具内形成具有底板和从所述底板中向上伸出的壁的阶梯状凹槽；

其中，所述阶梯状凹槽的尺寸和形状被制成适于容纳基板，使所述凹槽的底板与所述基板周边区域的底面相接触而所述垂直壁与所述基板的边缘相接触；并且

在所述基板由所述夹具支承时与所述基板周边区域相接触的底板和壁的所有表面都含有毛细材料。

17.如权利要求16所述的装置，其特征在于，所述夹具是环形的。

18.如权利要求16所述的装置，其特征在于，所述夹具包括从与所述基板周边区域相接触的所述底板和壁的表面中伸出直至夹具外表面的毛细材料通道，所述通道延伸贯穿非毛细材料。