[发明专利]追踪方法及设备无效
| 申请号: | 200580035333.7 | 申请日: | 2005-10-13 |
| 公开(公告)号: | CN101057183A | 公开(公告)日: | 2007-10-17 |
| 发明(设计)人: | 江尻铁平;尾崎多可雄;冈崎洋二 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03B27/32;H01L21/027 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 张成新 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 追踪 方法 设备 | ||
1.一种使用追踪头的追踪方法,所述追踪头包括:空间光学调制装置,所述空间光学调制装置由呈二维布置于其上的许多追踪元件构成,其用于根据依据追踪信息传送的控制信号来调制输入光;和光学系统,所述光学系统用于将经所述空间光学调制装置调制的光聚焦在追踪表面上,在所述追踪方法中,通过将控制信号传送至所述空间光学调制装置的所述追踪元件来进行调制并相对于所述追踪表面沿预定扫描方向来移动所述追踪头从而来执行追踪,
其中:
所述追踪头包括多个所述空间光学调制装置和共同的光学系统,所述光学系统用于将经所述多个空间光学调制装置调制的光聚焦在所述追踪表面上;以及
所述方法利用包括所述多个空间光学调制装置和所述共同光学系统的所述追踪头来执行追踪。
2.如权利要求1所述的追踪方法,其中,所述追踪头的所述多个空间光学调制装置和所述光学系统被布置成令所述追踪表面中所述光学系统将经所述多个空间光学调制装置调制的光聚焦于其上的区域并排布置在扫描方向和/或与扫描方向正交的方向上。
3.如权利要求1或2所述的追踪方法,其中,所述控制信号被并行或独立传送至所述多个空间光学调制装置。
4.如权利要求3所述的追踪方法,其中,通过使各个空间光学调制装置独立进行调制以及控制由各个空间光学调制装置独立进行的调制的时序和/或所述追踪头沿扫描方向的相对移动速度来控制所述追踪表面上与各个空间光学调制装置相对应的各个追踪区域的布置。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的追踪方法,其中:
所述多个空间光学调制装置中的每一个被划分为多个区块,并且
所述控制信号被并行或独立传送至各个空间光学调制装置中所述多个区块中的每一个区块。
6.如权利要求5所述的追踪方法,其中:
各个空间光学调制装置中的各个区块被进一步细分为多个区段,并且
所述控制信号被顺序传送至所述多个区段中的每一个区段,并且,当各个空间光学调制装置内的各个区块中所述控制信号的每一传送被完成的时候,调制被顺序进行。
7.如权利要求1至4中任意一项所述的追踪方法,其中:
所述多个空间光学调制装置中的每一个沿扫描方向被划分为多个区块;并且
所述控制信号被并行或独立传送至各个空间光学调制装置中的各个区块。
8.如权利要求7所述的追踪方法,其中,通过使各个空间光学调制装置中的各个区块独立进行调制以及控制由各个空间光学调制装置中的各个区块独立进行的调制的时序和/或所述追踪头沿扫描方向的相对移动速度来控制所述追踪表面上与各个空间光学调制装置中各个区块相对应的各个区块追踪区域的布置。
9.如权利要求7所述的追踪方法,其中:
各个空间光学调制装置中的各个区块沿扫描方向被进一步细分为多个区段;并且
所述控制信号被顺序传送至所述多个区段中的每一个区段,并且,当在各个空间光学调制装置内的各个区块中所述控制信号的每一传送被完成的时候,调制被顺序进行。
10.如权利要求9所述的追踪方法,其中,通过控制由各个空间光学调制装置中的各个区块内的各个区段进行的调制的时序和/或所述追踪头沿扫描方向的相对移动速度来控制所述追踪表面上与各个空间光学调制装置中各个区块内的各个区段相对应的各个区段追踪区域的布置。
11.一种追踪设备,包括:
追踪头,所述追踪头包括:空间光学调制装置,所述空间光学调制装置由呈二维布置于其上的许多追踪元件构成,其用于根据依据追踪信息传送的控制信号来调制输入光;和光学系统,所述光学系统用于将经所述空间光学调制装置调制的光聚焦在追踪表面上;
移动装置,所述移动装置用于相对于所述追踪表面沿预定的扫描方向移动所述追踪头;以及
控制装置,所述控制装置用于通过向所述空间光学调制装置的所述追踪元件传送控制信号从而使所述追踪元件进行调制,并通过控制所述移动装置来控制所述追踪头沿扫描方向的相对移动速度,
其中,所述追踪头包括多个所述空间光学调制装置和共同的光学系统,所述光学系统用于将经所述多个空间光学调制装置调制的光聚焦在所述追踪表面上。
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