[发明专利]在形成硅化镍之前对硅进行的处理无效
| 申请号: | 200580033542.8 | 申请日: | 2005-08-10 |
| 公开(公告)号: | CN101036230A | 公开(公告)日: | 2007-09-12 |
| 发明(设计)人: | 休-埃伦·克兰克;希林·西迪基;德博拉·J·赖利;特雷斯·昆廷·赫德;佩君·J·陈 | 申请(专利权)人: | 德州仪器公司 |
| 主分类号: | H01L29/12 | 分类号: | H01L29/12;H01L29/76;H01L21/283;H01L31/062;H01L23/48 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方;刘国伟 |
| 地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 形成 硅化镍 之前 进行 处理 | ||
【说明书】:
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