[发明专利]线性电机、载台装置和曝光装置有效
| 申请号： | 200580032810.4 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101032068A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 森本树;小南忠弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K3/30;G03F7/20;H02K3/32;H01L21/027;H02K9/19;H02K3/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;徐谦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性 电机 装置 曝光 | ||
【权利要求书】：
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