[发明专利]半导体装置的制造方法和半导体装置有效
| 申请号： | 200580029878.7 | 申请日： | 2005-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101015053A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 谷田一真;宫田修 | 申请（专利权）人： | 罗姆股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/12 | 分类号： | H01L23/12;H01L21/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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