[发明专利]使用虚拟模块的半导体处理方法有效
| 申请号： | 200580027647.2 | 申请日： | 2005-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101006398A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 麦里特·法克;韦斯利·纳特勒 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 虚拟 模块 半导体 处理 方法 | ||
【说明书】：
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