[发明专利]小滴沉积设备和制造方法无效
| 申请号: | 200580022397.3 | 申请日: | 2005-07-04 | 
| 公开(公告)号: | CN1980794A | 公开(公告)日: | 2007-06-13 | 
| 发明(设计)人: | 保罗·雷蒙德·德鲁里 | 申请(专利权)人: | 萨尔技术有限公司 | 
| 主分类号: | B41J2/145 | 分类号: | B41J2/145;B41J2/16;B41J2/51 | 
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王新华 | 
| 地址: | 英国*** | 国省代码: | 英国;GB | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 沉积 设备 制造 方法 | ||
【权利要求书】:
                
            
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