[发明专利]在闭环操作中微机电系统反射镜的稳定性有效
| 申请号： | 200580022337.1 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1981230A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | A·M·特纳;M·W·黑顿 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民;薛峰 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 闭环 操作 微机 系统 反射 稳定性 | ||
【说明书】：
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