[发明专利]含有缩合类聚合物的半导体用防反射膜有效
| 申请号： | 200580018731.8 | 申请日： | 2005-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN1965268A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 岸冈高广;坂本力丸;广井佳臣;丸山大辅 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08L79/04;C09D163/00;C09D179/04;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 含有 缩合 类聚 半导体 反射 | ||
【权利要求书】：
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