[发明专利]放射线感应组合物、叠层体及其制造方法以及电子部件有效
| 申请号： | 200580016692.8 | 申请日： | 2005-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1957299A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 东广和;寺田和代;木内孝司 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放射线 感应 组合 叠层体 及其 制造 方法 以及 电子 部件 | ||
【权利要求书】：
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