[发明专利]用于确定和/或监控过程变量的装置有效
申请号: | 200580006509.6 | 申请日: | 2005-03-02 |
公开(公告)号: | CN101133304A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 谢尔盖·洛帕京 | 申请(专利权)人: | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
主分类号: | G01F23/296 | 分类号: | G01F23/296;H01L41/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 钟强;樊卫民 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 确定 监控 过程 变量 装置 | ||
1.用于确定和/或监控介质的过程变量的装置,包括:固定在薄膜(5)上的可振荡单元(1);发送/接收单元(6),其激励薄膜(5)和可振荡单元(1)振荡并接收可振荡单元(1)的振荡,其中发送/接收单元(6)是盘状的压电元件(15);和
控制/分析单元(10),其基于可振荡单元(1)的振荡监控和/或确定过程变量;
其特征在于,
盘状压电元件(15)具有被基本上彼此反向极化的至少两个片段(18);并且
至少两个极性相反的电极(20)被施加至盘状压电元件(15)背离薄膜(5)的一侧(16)上。
2.根据权利要求1所述的装置,其中在盘状压电元件(15)背离薄膜(5)的一侧(16)上施加正好两个极性相反的电极(20)。
3.根据权利要求1或2所述的装置,其中电极(20)基本上形状相同。
4.根据权利要求3所述的装置,其中电极(20)具有半圆形片段的形式。
5.根据权利要求1或2所述的装置,其中这样构造并设置电极(20),使得一个电极环形围绕另一个电极。
6.根据权利要求1或2所述的装置,其中压电元件(15)在其朝向薄膜(5)的一侧(17)上至少部分具有导电涂层(25)。
7.根据权利要求1、2或6所述的装置,其中朝向薄膜(5)的一侧(17)与地导电连接。
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