[发明专利]烷氧基金属化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法无效
| 申请号： | 200580004018.8 | 申请日： | 2005-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN1914150A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 佐藤宏树;樱井淳 | 申请（专利权）人： | 株式会社艾迪科 |
| 主分类号： | C07C215/08 | 分类号： | C07C215/08;C23C16/40;H01L21/316;C07F7/00;C07F7/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基金 化合物 薄膜 形成 原料 制造 方法 | ||
【说明书】：
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