[发明专利]可选式双位置磁控管有效
| 申请号： | 200580003829.6 | 申请日： | 2005-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1914351A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 则－敬·巩;宏·S·杨;阿纳赛·K·萨拉梅尼;莫里斯·E·尤尔特;基思·A·米勒;文森特·E·伯克哈特 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可选 位置 磁控管 | ||
【说明书】：
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