[实用新型]柱状阴极复合离子镀膜设备无效
| 申请号： | 200520120710.4 | 申请日： | 2005-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN2846439Y | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 马胜歌;陈庆川 | 申请（专利权）人： | 深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 深圳市中知专利商标代理有限公司 | 代理人： | 孙皓;林虹 |
| 地址： | 525008广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柱状 阴极 复合 离子 镀膜 设备 | ||
【说明书】：
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