[实用新型]一种磁控溅射铁磁材料的靶材结构无效
| 申请号： | 200520051398.8 | 申请日： | 2005-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN2828061Y | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 程海峰;杨长胜;李永清;唐耿平;楚增勇;姜冀湘;郑文伟 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所 | 代理人： | 宁星耀;宁冈 |
| 地址： | 410073湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 材料 结构 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科学技术大学，未经中国人民解放军国防科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200520051398.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
