[发明专利]准分子灯装置有效
| 申请号： | 200510128611.5 | 申请日： | 2005-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1783421A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 广濑贤一 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子 装置 | ||
【说明书】：
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