[发明专利]用固态磷裂解源炉分子束外延磷化铟材料的方法无效
| 申请号： | 200510126237.5 | 申请日： | 2005-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1978714A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李路;刘峰奇;周华兵;梁凌燕;吕小晶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固态 裂解 分子 外延 磷化 材料 方法 | ||
【说明书】：
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