[发明专利]图形生成方法、半导体器件及其制造方法和控制方法有效
| 申请号： | 200510115614.5 | 申请日： | 2005-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1790352A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 羽多野正亮;冈崎元哉;和田纯一;西冈岳;金子尚史;藤卷刚;东和幸;吉田健司;松永范昭 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/027;G03F1/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 李峥;陈海红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图形 生成 方法 半导体器件 及其 制造 控制 | ||
【权利要求书】：
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