[发明专利]化学机械抛光废液分流收集装置及其收集方法有效
| 申请号： | 200510111676.9 | 申请日： | 2005-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1986158A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 徐根保;张开军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;刘继富 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 废液 分流 收集 装置 及其 方法 | ||
【说明书】：
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