[发明专利]物理量传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200510108463.0 | 申请日： | 2005-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1758435A | 公开（公告）日： | 2006-04-12 |
| 发明（设计）人： | 白坂健一;齐藤博 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | H01L25/00 | 分类号： | H01L25/00;H01L23/28;H01L21/50;G01R33/02;G01G7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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