[发明专利]纳米结构有序多孔薄膜型气敏元件及其制备方法无效
| 申请号： | 200510095606.9 | 申请日： | 2005-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1967230A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 孙丰强;蔡伟平;贾丽超;曹丙强;李越 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/02;H01L49/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 结构 有序 多孔 薄膜 型气敏 元件 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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