[发明专利]用于汽相淀积系统的衬底托架有效
| 申请号： | 200510092824.7 | 申请日： | 2005-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1737191A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 理查德·I.·塞登 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼弗思公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 汽相淀积 系统 衬底 托架 | ||
【说明书】：
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