[发明专利]扫描探针显微镜的数字闭环扫描控制系统无效
| 申请号： | 200510086212.7 | 申请日： | 2005-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1912573A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 夏清文;林云生;韩立;左燕生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G05B15/00;G05B19/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100080北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 数字 闭环 控制系统 | ||
【说明书】：
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