[发明专利]声表面波液相阵列传感器敏感膜的制备方法无效
| 申请号： | 200510085895.4 | 申请日： | 2004-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1721571A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 叶学松;杨明艳 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/06;H01L41/22;G01N29/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面波 阵列 传感器 敏感 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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