[发明专利]旋转杯式涂敷装置无效
| 申请号: | 200510081041.9 | 申请日: | 2005-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN1714944A | 公开(公告)日: | 2006-01-04 |
| 发明(设计)人: | 山口和伸;佐保田勉;升芳明;山本夕记 | 申请(专利权)人: | 东京応化工业株式会社;龙云株式会社 |
| 主分类号: | B05C11/08 | 分类号: | B05C11/08;G03F7/16 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 旋转 杯式涂敷 装置 | ||
【说明书】:
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