[发明专利]内吸杂的异质外延半导体晶片及其制造方法无效
| 申请号: | 200510073150.6 | 申请日: | 2005-05-31 |
| 公开(公告)号: | CN1796620A | 公开(公告)日: | 2006-07-05 |
| 发明(设计)人: | M·R·西克瑞斯特;G·M·威尔逊;R·W·斯坦德利 | 申请(专利权)人: | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/00 | 分类号: | C30B29/00;C30B29/06;C30B29/08;H01L21/02 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 马江立;秘凤华 |
| 地址: | 美国密*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 内吸杂 外延 半导体 晶片 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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