[发明专利]用于涂覆光刻胶图案的组合物无效
| 申请号： | 200510068848.9 | 申请日： | 2005-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1797195A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李根守;文升灿 | 申请（专利权）人： | 海力士半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 图案 组合 | ||
【说明书】：
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